电子工业专用设备杂志部级期刊

影响因子：0.3

复合影响因子：0.19

主管单位：中国电子科技集团...

国内刊号：62-1077/TN

创刊时间：1971

主办单位：中国电子科技集团...

出版地方：北京

发行周期：双月刊

国际刊号：1004-4507

业务类型：期刊征订

期刊荣誉：

Caj-cd规范获奖期刊中国优秀期刊遴选数据库中国期刊全文数据库（CJFD）

期刊收录：

知网收录(中) 维普收录(中) 万方收录(中) 国家图书馆馆藏上海图书馆馆藏

学术咨询： 预计审稿时间： 1个月内影响因子：0.19

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电子工业专用设备杂志社简介

《电子工业专用设备杂志》注重性、学术性，努力做到风格清新、雅俗共赏。创刊于1971年，经新闻总署批准公开发行的专业性学术期刊，CN:62-1077/TN。创刊以来一直是各种电子信息交流的重要平台。

《电子工业专用设备杂志》是中国的办刊方针是“公布新的科技成就，传播科技信息，交流学术思想，促进科技成果的商品化、产业化，为建设社会主义精神文明与物质文明服务”。

杂志收录/荣誉

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杂志栏目设置

先进封装技术与设备半导体制造工艺与设备电子专用设备研究专用设备维护与保养

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电子工业专用设备杂志要求

[1]注释格式与顺序为著者(含整理者、点校者)、书名(章节数)、卷数(章节名)、版本(出版社与出版年月)及页码等。

[2]摘要300字左右，关键词3—5个，标题、摘要、关键词等均无须译为英文。

[3]题名与标题以最恰当、简明的词句反映论文、报告中的最重要的特定内容，题名应避免使用不常见的缩略语、首字母缩写词、字符、代号和公式等。

[4]来稿请勿一稿多投，投稿三个月后未接到用稿通知者，请作者自行处理。

[5]本刊采用匿名审稿制。

杂志数据统计

主要发文主题分析

主题名称	发文量	相关发文学者
半导体	1260	翁寿松；童志义；谢中生；程开富；柳滨
电路	448	鲜飞；李庆祥；薛实福；李习周；唐德兴
封装	436	童志义；杨建生；鲜飞；王春青；贾松良
芯片	362	翁寿松；侯一雪；鲜飞；曹国斌；王仲康
集成电路	349	李庆祥；薛实福；李习周；唐德兴；鲜飞
晶圆	345	胡晓霞；翁寿松；周国安；谭立杰；高津平
光刻	315	童志义；胡松；翁寿松；李毅杰；张文雅
半导体设备	260	翁寿松；尚美杰；赵立华；张世恩；童志义
太阳能	171	贾京英；唐超凡；王娟；陈特超；颜秀文
半导体产业	166	翁寿松；杜玉春；路松杯；俞忠钰；阳春

年度被引次数报告

2012 2013 2014 2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021 2022

本刊文章发表的年份

2012 2011 2010 2009 2008 2007 2006 2005 2004 2003

在2012年的被引次数

2 15 40 23 27 33 21 21 15 4

被本刊自己引用的次数

2 7 12 4 4 5 3 1 3 0

被引次数的累积百分比

0.0086 0.0733 0.2457 0.3448 0.4612 0.6034 0.694 0.7845 0.8491 0.8664

本刊文章发表的年份

2013 2012 2011 2010 2009 2008 2007 2006 2005 2004

在2013年的被引次数

6 21 26 23 26 31 32 14 20 27

被本刊自己引用的次数

3 7 8 4 3 4 4 1 0 1

被引次数的累积百分比

0.0233 0.1047 0.2054 0.2946 0.3953 0.5155 0.6395 0.6938 0.7713 0.876

本刊文章发表的年份

2014 2013 2012 2011 2010 2009 2008 2007 2006 2005

在2014年的被引次数

7 34 26 21 30 27 17 21 20 27

被本刊自己引用的次数

1 10 8 2 8 3 0 8 3 4

被引次数的累积百分比

0.0261 0.153 0.25 0.3284 0.4403 0.541 0.6045 0.6828 0.7575 0.8582

本刊文章发表的年份

2015 2014 2013 2012 2011 2010 2009 2008 2007 2006

在2015年的被引次数

5 18 28 25 29 34 25 20 15 13

被本刊自己引用的次数

1 4 5 6 3 9 4 2 2 4

被引次数的累积百分比

0.0188 0.0865 0.1917 0.2857 0.3947 0.5226 0.6165 0.6917 0.7481 0.797

本刊文章发表的年份

2016 2015 2014 2013 2012 2011 2010 2009 2008 2007

在2016年的被引次数

5 17 24 32 23 27 30 20 23 17

被本刊自己引用的次数

1 2 6 5 3 6 7 1 3 3

被引次数的累积百分比

0.0174 0.0767 0.1603 0.2718 0.3519 0.446 0.5505 0.6202 0.7003 0.7596

本刊文章发表的年份

2017 2016 2015 2014 2013 2012 2011 2010 2009 2008

在2017年的被引次数

1 21 16 22 23 15 16 10 14 20

被本刊自己引用的次数

0 6 0 2 2 1 2 1 0 2

被引次数的累积百分比

0.0043 0.0948 0.1638 0.2586 0.3578 0.4224 0.4914 0.5345 0.5948 0.681

本刊文章发表的年份

2018 2017 2016 2015 2014 2013 2012 2011 2010 2009

在2018年的被引次数

1 13 17 21 25 28 20 21 26 21

被本刊自己引用的次数

0 3 3 0 2 1 1 3 3 5

被引次数的累积百分比

0.0036 0.0511 0.1131 0.1898 0.281 0.3832 0.4562 0.5328 0.6277 0.7044

本刊文章发表的年份

2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013 2012 2011 2010

在2019年的被引次数

2 25 21 24 21 23 36 11 12 17

被本刊自己引用的次数

0 3 5 3 4 2 3 2 2 2

被引次数的累积百分比

0.0066 0.0897 0.1595 0.2392 0.309 0.3854 0.505 0.5415 0.5814 0.6379

本刊文章发表的年份

2020 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013 2012 2011

在2020年的被引次数

3 25 18 13 10 21 23 17 15 18

被本刊自己引用的次数

1 4 2 0 0 1 4 4 1 1

被引次数的累积百分比

0.011 0.1029 0.1691 0.2169 0.2537 0.3309 0.4154 0.4779 0.5331 0.5993

本刊文章发表的年份

2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013 2012

在2021年的被引次数

4 33 23 34 15 19 17 26 25 18

被本刊自己引用的次数

1 5 4 3 1 0 1 1 4 1

被引次数的累积百分比

0.0119 0.1098 0.178 0.2789 0.3234 0.3798 0.4303 0.5074 0.5816 0.635

本刊文章发表的年份

2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013

在2022年的被引次数

4 42 26 25 22 6 24 14 16 17

被本刊自己引用的次数

1 10 4 1 1 1 4 2 3 1

被引次数的累积百分比

0.0126 0.1447 0.2264 0.305 0.3742 0.3931 0.4686 0.5126 0.5629 0.6164

年度参考文献报告

2012 2013 2014 2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021 2022

2012年本刊引用参考文献出版年

2012 2011 2010 2009 2008 2007 2006 2005 2004 2003

对应的参考文献数

7 32 27 27 27 22 18 8 14 14

累积百分比

0.0287 0.1598 0.2705 0.3811 0.4918 0.582 0.6557 0.6885 0.7459 0.8033

2013年本刊引用参考文献出版年

2013 2012 2011 2010 2009 2008 2007 2006 2005 2004

对应的参考文献数

8 21 27 23 25 29 31 23 15 20

累积百分比

0.0256 0.0927 0.1789 0.2524 0.3323 0.4249 0.524 0.5974 0.6454 0.7093

2014年本刊引用参考文献出版年

2014 2013 2012 2011 2010 2009 2008 2007 2006 2005

对应的参考文献数

3 23 28 12 24 22 19 26 16 23

累积百分比

0.0112 0.0967 0.2007 0.2454 0.3346 0.4164 0.487 0.5836 0.6431 0.7286

2015年本刊引用参考文献出版年

2015 2014 2013 2012 2011 2010 2009 2008 2007 2006

对应的参考文献数

2 15 14 18 20 29 20 28 17 15

累积百分比

0.0077 0.0654 0.1192 0.1885 0.2654 0.3769 0.4538 0.5615 0.6269 0.6846

2016年本刊引用参考文献出版年

2016 2015 2014 2013 2012 2011 2010 2009 2008 2007

对应的参考文献数

2 5 20 22 20 17 16 12 20 8

累积百分比

0.0098 0.0341 0.1317 0.239 0.3366 0.4195 0.4976 0.5561 0.6537 0.6927

2017年本刊引用参考文献出版年

2017 2016 2015 2014 2013 2012 2011 2010 2009 2008

对应的参考文献数

1 12 7 10 9 8 12 12 11 13

累积百分比

0.0058 0.0751 0.1156 0.1734 0.2254 0.2717 0.341 0.4104 0.474 0.5491

2018年本刊引用参考文献出版年

2018 2017 2016 2015 2014 2013 2012 2011 2010 2009

对应的参考文献数

2 13 10 10 15 13 20 18 15 15

累积百分比

0.009 0.0673 0.1121 0.157 0.2242 0.2825 0.3722 0.4529 0.5202 0.5874

2019年本刊引用参考文献出版年

2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013 2012 2011 2010

对应的参考文献数

7 16 19 17 17 18 19 15 10 8

累积百分比

0.0258 0.0849 0.155 0.2177 0.2804 0.3469 0.417 0.4723 0.5092 0.5387

2020年本刊引用参考文献出版年

2020 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013 2012 2011

对应的参考文献数

6 25 17 9 4 11 15 10 11 10

累积百分比

0.0264 0.1366 0.2115 0.2511 0.2687 0.3172 0.3833 0.4273 0.4758 0.5198

2021年本刊引用参考文献出版年

2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013 2012

对应的参考文献数

4 22 22 16 12 14 11 8 17 11

累积百分比

0.0176 0.1145 0.2115 0.2819 0.3348 0.3965 0.4449 0.4802 0.5551 0.6035

2022年本刊引用参考文献出版年

2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013

对应的参考文献数

12 36 22 14 13 15 11 8 14 8

累积百分比

0.0492 0.1967 0.2869 0.3443 0.3975 0.459 0.5041 0.5369 0.5943 0.627

电子工业专用设备杂志文章选集

GEM状态转换在化学机械抛光设备系统中的应用吴燕林; 李嘉浪; 周庆亚

亚微米光栅曝光系统的应用及设备关键技术研究蔡颖岚; 邓学文; 唐代飞; 林禾; 毛自若

投影光刻机调平调焦系统原理与故障分析张文雅; 赵英伟

提高MEMS用超薄硅片厚度测量质量的研究王世援

基于人工智能的芯片表面缺陷检测研究付纯鹤; 高荣荣; 王军帅; 于晓华

基于PLC的微细线剥线切线机控制算法设计袁家军; 莫贵涛; 陈秋; 李杰

基于E类功率放大电路的射频功率发生器李勇滔; 崔晨; 孙小孟; 林亭廷; 赵丽莉

线轮轴力学性能研究唐强; 李欢; 郝禄

同步链传动中的链轮实体优化设计张武学; 任晓庆

期刊常见问题

该杂志认可度高吗？

该期刊创刊于1971年，出版地方是北京，先后获得Caj-cd规范获奖期刊、中国优秀期刊遴选数据库、中国期刊全文数据库（CJFD）、等荣誉，是一本有一定影响力的学术期刊。

该杂志是正规期刊吗？

该期刊国际刊号：1004-4507，国内刊号：62-1077/TN。相关信息可以在国家新闻出版总署网站上查询。如果您还有疑问，可以联系客服，了解更多详情。

该杂志的影响因子是多少?

影响因子现已成为国际上通用的期刊评价指标，它不仅是一种测度期刊有用性和显示度的指标，而且也是测度期刊的学术水平，乃至论文质量的重要指标。该期刊影响因子为0.3，复合影响因子为0.19。

该杂志发行周期是多久？

根据出版周期的不同，期刊通常可分为月刊、双月刊、季刊、半年刊、年刊、双年刊等。该杂志的发行周期为双月刊。发行周期会影响到文章的排期，如果您有需要，请尽早与我们联系。

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