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关键词:半导体,超晶格,集成电路,电子器件
1.半导体材料的概念与特性
当今,以半导体材料为芯片的各种产品普遍进入人们的生活,如电视机,电子计算机,电子表,半导体收音机等都已经成为我们日常所不可缺少的家用电器。半导体材料为什么在今天拥有如此巨大的作用,这需要我们从了解半导体材料的概念和特性开始。
半导体是导电能力介于导体和绝缘体之间的一类物质,在某些情形下具有导体的性质。半导体材料广泛的应用源于它们独特的性质。首先,一般的半导体材料的电导率随温度的升高迅速增大,各种热敏电阻的开发就是利用了这个特性;其次,杂质参入对半导体的性质起着决定性的作用,它们可使半导体的特性多样化,使得PN结形成,进而制作出各种二极管和三极管;再次,半导体的电学性质会因光照引起变化,光敏电阻随之诞生;一些半导体具有较强的温差效应,可以利用它制作半导体制冷器等;半导体基片可以实现元器件集中制作在一个芯片上,于是产生了各种规模的集成电路。这种种特性使得半导体获得各种各样的用途,在科技的发展和人们的生活中都起到十分重要的作用。
2.半导体材料的发展历程
半导体材料从发现到发展,从使用到创新,也拥有着一段长久的历史。在20世纪初期,就曾出现过点接触矿石检波器。1930年,氧化亚铜整流器制造成功并得到广泛应用,使半导体材料开始受到重视。1947年锗点接触三极管制成,成为半导体的研究得到重大突破。50年代末,薄膜生长技术的开发和集成电路的发明,使得微电子技术得到进一步发展。60年代,砷化镓材料制成半导体激光器,固溶体半导体材料在红外线方面的研究发展,半导体材料的应用得到扩展。1969年超晶格概念的提出和超晶格量子阱的研究成功,使得半导体器件的设计与制造从“杂志工程”发展到“能带工程”,将半导体材料的研究和应用推向了一个新的领域。90年代以来随着移动通信技术的飞速发展,砷化镓和磷化铟等半导体材料得成为焦点,用于制作高速、高频、大功率及发光电子器件等;近些年,新型半导体材料的研究得到突破,以氮化镓为代表的先进半导体材料开始体现出其超强优越性,被称为IT产业新的发动机。
3.各类半导体材料的介绍与应用
半导体材料多种多样,要对其进一步的学习,我们需要从不同的类别来认识和探究。通常半导体材料分为:元素半导体、化合物半导体、固溶体半导体、非晶半导体、有机半导体、超晶格半导体材料。不同的半导体材料拥有着独自的特点,在它们适用的领域都起到重要的作用。
3.1元素半导体材料
元素半导体材料是指由单一元素构成的具有半导体性质的材料,分布于元素周期表三至五族元素之中,以硅和锗为典型。硅在在地壳中的含量较为丰富,约占25%,仅次于氧气。硅在当前的应用相当广泛,它不仅是半导体集成电路、半导体器件和硅太阳能电池的基础材料,而且用半导体制作的电子器件和产品已经大范围的进入到人们的生活,人们的家用电器中所用到的电子器件80%以上元件都离不开硅材料。锗是稀有元素,地壳中的含量较少,由于锗的特有性质,使得它的应用主要集中于制作各种二极管,三极管等。而以锗制作的其他器件如探测器,也具备着许多的优点,广泛的应用于多个领域。
3.2化合物半导体材料
通常所说的化合物半导体多指晶态无机化合物半导体,即是指由两种或两种以上元素确定的原子配比形成的化合物,并具有确定的禁带宽度和能带结构的半导体性质。化合物半导体材料种类繁多,按元素在元素周期表族来分类,分为三五族(如砷化镓、磷化铟等),二六族(如硒化锌),四四族(如碳化硅)等。如今化合物半导体材料已经在太阳能电池、光电器件、超高速器件、微波等领域占据重要的位置,且不同种类具有不同的性质,也得到不同的应用。。
3.3固溶体半导体材料
固溶体半导体材料是某些元素半导体或者化合物半导体相互溶解而形成的一种具有半导体性质的固态溶液材料,又称为混晶体半导体或者合金半导体。随着每种成分在固溶体中所占百分比(X值)在一定范围内连续地改变,固溶体半导体材料的各种性质(尤其是禁带宽度)将会连续地改变,但这种变化不会引起原来半导体材料的晶格发生变化.利用固溶体半导体这种特性可以得到多种性能的材料。
3.4非晶半导体材料
非晶半导体材料是具有半导体特性的非晶体组成的材料,如α-硅、α-锗、α-砷化镓、α-硫化砷、α-硒等。。这类材料,原子排列短程有序,长程无序,又称无定形半导体,部分称作玻璃半导体。非晶半导体按键合力的性质分为共价键非晶半导体和离子键非晶半导体两类,可用液相快冷方法和真空蒸发或溅射的方法制备。在工业上,非晶半导体材料主要用于制备像传感器、太阳能电池薄膜晶体管等非晶半导体器件。
3.5有机半导体材料
有机半导体是导电能力介于金属和绝缘体之间,具有热激活电导率且电导率在10-10~100S·cm的负一次方范围内的有机物,如萘蒽、聚丙烯和聚二乙烯苯以及碱金属和蒽的络合物等.其中聚丙烯腈等有机高分子半导体又称塑料半导体。有机半导体可分为有机物、聚合物和给体-受体络合物三类。相比于硅电子产品,有机半导体芯片等产品的生产能力较差,但是拥有加工处理更方便、结实耐用、成本低廉的独特优点。目前,有机半导体材料及器件已广泛应用于手机,笔记本电脑,数码相机,有机太阳能电池等方面。
3.6超晶格微结构半导体材料
超晶格微结构半导体材料是指按所需特性设计的能带结构,用分子束外延或金属有机化学气相沉积等超薄层生产技术制造出来的具有各种特异性能的超薄膜多层结构材料。由于载流子在超晶格微结构半导体中的特殊运动,使得其出现许多新的物理特性并以此开发了新一代半导体技术。。当前,对超晶格微结构半导体材料的研究和应用依然在研究之中,它的发展将不断推动许多领域的提高和进步。
4.半导体材料的发展方向
随着信息技术的快速发展和各种电子器件、产品等要求不断的提高,半导体材料在未来的发展中依然起着重要的作用。在经过以Si、GaAs为代表的第一代、第二代半导体材料发展历程后,第三代半导体材料的成为了当前的研究热点。我们应当在兼顾第一代和第二代半导体发展的同时,加速发展第三代半导体材料。目前的半导体材料整体朝着高完整性、高均匀性、大尺寸、薄膜化、集成化、多功能化方向迈进。随着微电子时代向光电子时代逐渐过渡,我们需要进一步提高半导体技术和产业的研究,开创出半导体材料的新领域。相信不久的将来,通过各种半导体材料的不断探究和应用,我们的科技、产品、生活等方面定能得到巨大的提高和发展!
参考文献
[1]沈能珏,孙同年,余声明,张臣.现代电子材料技术.信息装备的基石[M].北京:国防工业出版社,2002.
[2]靳晓宇.半导体材料的应用与发展研究[J].大众商务,2009,(102).
[3]彭杰.浅析几种半导体材料的应用与发展[J].硅谷, 2008,(10).
[4]半导体技术天地.2ic.cn/html/bbs.html.
关键词半导体;材料;芯片;发展;应用;技术;
中图分类号:O471 文献标识码:A 文章编号:
引言
自然界中的物质,根据其导电性能的差异可划分为导电性能良好的导体(如银、铜、铁等)、几乎不能导电的绝缘体(如橡胶、陶瓷、塑料等)和半导体(如锗、硅、砷化镓等)。半导体是导电能力介于导体和绝缘体之间的一种物质。它的导电能力会随温度、光照及掺入杂质的不同而显著变化,特别是掺杂可以改变半导体的导电能力和导电类型,这是其广泛应用于制造各种电子元器件和集成电路的基本依据。
一、半导体材料的概念与特性
当今,以半导体材料为芯片的各种产品普遍进入人们的生活,如电视机,电子计算机,电子表,半导体收音机等都已经成为我们日常所不可缺少的家用电器。 半导体材料为什么在今天拥有如此巨大的作用, 这需要我们从了解半导体材料的概念和特性开始。
半导体是导电能力介于导体和绝缘体之间的一类物质,在某些情形下具有导体的性质。 半导体材料广泛的应用源于它们独特的性质。 首先,一般的半导体材料的电导率随温度的升高迅速增大,各种热敏电阻的开发就是利用了这个特性;其次,杂质参入对半导体的性质起着决定性的作用,它们可使半导体的特性多样化,使得 PN 结形成,进而制作出各种二极管和三极管;再次,半导体的电学性质会因光照引起变化,光敏电阻随之诞生;一些半导体具有较强的温差效应,可以利用它制作半导体制冷器等; 半导体基片可以实现元器件集中制作在一个芯片上,于是产生了各种规模的集成电路。 这种种特性使得半导体获得各种各样的用途, 在科技的发展和人们的生活中都起到十分重要的作用。
二、几种主要半导体材料的发展现状与趋势
(一)硅材料
硅材料是半导体中应用广泛的一类材料,目前直径为8英寸(200mm)的Si单晶已实现大规模工业生产,基于直径为12英寸(300mm)硅片的集成电路(IC's)技术正处在由实验室向工业生产转变中。18英寸重达414公斤的硅单晶和18英寸的硅园片已在实验室研制成功,直径27英寸硅单晶研制也正在积极筹划中。
从进一步提高硅IC'S的速度和集成度看,研制适合于硅深亚微米乃至纳米工艺所需的大直径硅外延片会成为硅材料发展的主流。另外,SOI材料,包括智能剥离(Smart cut)和SIMOX材料等也发展很快。目前,直径8英寸的硅外延片和SOI材料已研制成功,更大尺寸的片材也在开发中。
(二)GaAs和InP单晶材料
GaAs和InP与硅不同,它们都是直接带隙材料,具有电子饱和漂移速度高,耐高温,抗辐照等特点;在超高速、超高频、低功耗、低噪音器件和电路,特别在光电子器件和光电集成方面占有独特的优势。
(三)半导体超晶格、量子阱材料
半导体超薄层微结构材料是基于先进生长技术(MBE,MOCVD)的新一代人工构造材料。它以全新的概念改变着光电子和微电子器件的设计思想,出现了“电学和光学特性可剪裁”为特征的新范畴,是新一代固态量子器件的基础材料。GaN/BP/Si以及GaN/Si材料。最近,在GaN/Si上成功地研制出LED发光器件和有关纳米硅的Ⅲ-V族超晶格、量子阱材料。我国早在1999年,就研制成功980nm InGaAs带间量子级联激光器,输出功率达5W以上;2000年初,法国汤姆逊公司又报道了单个激光器准连续输出功率超过10瓦好结果。最近,我国的科研工作者又提出并开展了多有源区纵向光耦合垂直腔面发射激光器研究,这是一种具有高增益、极低阈值、高功率和高光束质量的新型激光器,在未来光通信、光互联与光电信息处理方面有着良好的应用前景。
(四)一维量子线、零维量子点半导体微结构材料
基于量子尺寸效应、量子干涉效应,量子隧穿效应和库仑阻效应以及非线性光学效应等的低维半导体材料是一种人工构造(通过能带工程实施)的新型半导体材料,是新一代微电子、光电子器件和电路的基础。它的发展与应用,极有可能触发新的技术革命。
目前低维半导体材料生长与制备主要集中在几个比较成熟的材料体系上,如GaAlAs/GaAs,In(Ga)As/GaAs,InGaAs/InAlAs/GaAs,InGaAs/InP,In(Ga)As/InAlAs/InP,InGaAsP/InAlAs/InP以及GeSi/Si等,并在纳米微电子和光电子研制方面取得了重大进展。俄罗斯约飞技术物理所MBE小组,柏林的俄德联合研制小组和中科院半导体所半导体材料科学重点实验室的MBE小组等研制成功的In(Ga)As/GaAs高功率量子点激光器,工作波长lμ蘭左右,单管室温连续输出功率高达3.6~4W。1.5 宽带隙半导体材料宽带隙半导体材料主要指的是金刚石,III族氮化物,碳化硅,立方氮化硼以及氧化物(ZnO等)及固溶体等,特别是SiC、GaN和金刚石薄膜等材料,因具有高热导率、高电子饱和漂移速度和大临界击穿电压等特点,成为研制高频大功率、耐高温、抗辐照半导体微电子器件和电路的理想材料;在通信、汽车、航空、航天、石油开采以及国防等方面有着广泛的应用前景。另外,III族氮化物也是很好的光电子材料,在蓝、绿光发光二极管(LED)和紫、蓝、绿光激光器(LD)以及紫外探测器等应用方面也显示了广泛的应用前景。随着1993年GaN材料的P型掺杂突破,GaN基材料成为蓝绿光发光材料的研究热点。
三、半导体材料发展的几点建议
GaAs、InP等单晶材料同国外的差距主要表现在拉晶和晶片加工设备落后,没有形成生产能力。相信在国家各部委的统一组织、领导下,并争取企业介入,建立我国自己的研究、开发和生产联合体,取各家之长,分工协作,到2010年赶上世界先进水平是可能的。要达到上述目的,到“十五”末应形成以4英寸单晶为主2-3吨/年的SI-GaAs和3-5吨/年掺杂GaAs、InP单晶和开盒就用晶片的生产能力,以满足我国不断发展的微电子和光电子工业的需求。到2010年,应当实现4英寸GaAs生产线的国产化,并具有满足6英寸线的供片能力。发展超晶格、量子阱和一维、零维半导体微结构材料。
(一)超晶格、量子阱材料
从目前我国国力和我们已有的基础出发,应以三基色(超高亮度红、绿和蓝光)材料和光通信材料为主攻方向,并兼顾新一代微电子器件和电路的需求,加强MBE和MOCVD两个基地的建设,引进必要的适合批量生产的工业型MBE和MOCVD设备并着重致力于GaAlAs/GaAs,InGaAlP/InGaP,GaN基蓝绿光材料,InGaAs/InP和InGaAsP/InP等材料体系的实用化研究是当务之急,争取在“十五”末,能满足国内2、3和4英寸GaAs生产线所需要的异质结材料。到2010年,每年能具备至少100万平方英寸MBE和MOCVD微电子和光电子微结构材料的生产能力。达到本世纪初的国际水平。
宽带隙高温半导体材料如SiC,GaN基微电子材料和单晶金刚石薄膜以及ZnO等材料也应择优布点,分别做好研究与开发工作。
(二)一维和零维半导体材料的发展设想
基于低维半导体微结构材料的固态纳米量子器件,目前虽然仍处在预研阶段,但极其重要,极有可能触发微电子、光电子技术新的革命。低维量子器件的制造依赖于低维结构材料生长和纳米加工技术的进步,而纳米结构材料的质量又很大程度上取决于生长和制备技术的水平。因而,集中人力、物力建设我国自己的纳米科学与技术研究发展中心就成为了成败的关键。具体目标是,“十五”末,在半导体量子线、量子点材料制备,量子器件研制和系统集成等若干个重要研究方向接近当时的国际先进水平;2010年在有实用化前景的量子点激光器,量子共振隧穿器件和单电子器件及其集成等研发方面,达到国际先进水平,并在国际该领域占有一席之地。可以预料,它的实施必将极大地增强我国的经济和国防实力。
结束语
随着信息技术的快速发展和各种电子器件、 产品等要求不断的提高, 半导体材料在未来的发展中依然起着重要的作用。 在经过以 Si、GaAs 为代表的第一代、第二代半导体材料发展历程后,第三代半导体材料的成为了当前的研究热点。 我们应当在兼顾第一代和第二代半导体发展的同时, 加速发展第三代半导体材料。 目前的半导体材料整体朝着高完整性、高均匀性、大尺寸、薄膜化、集成化、多功能化方向迈进。 随着微电子时代向光电子时代逐渐过渡, 我们需要进一步提高半导体技术和产业的研究,开创出半导体材料的新领域。 相信不久的将来,通过各种半导体材料的不断探究和应用,我们的科技、产品、生活等方面定能得到巨大的提高和发展!
参考文献
[1]沈能珏,孙同年,余声明,张臣.现代电子材料技术.信息装备的基石[M].北京:国防工业出版社,2002.
[2]靳晓宇.半导体材料的应用与发展研究[J].大众商务,2009,(102).
[3]彭杰.浅析几种半导体材料的应用与发展[J].硅谷, 2008,(10).
与无机晶体管相比,有机薄膜晶体管具有下述主要优点:有机薄膜的成膜技术更多、更新,如Langmuir-Blodgett(LB)技术、分子自组装技术、真空蒸镀、喷墨打印等,从而使制作工艺简单、多样、成本低;器件的尺寸能做得更小,集成度更高,分子尺度的减小和集成度的提高意味着操作功率的减小以及运算速度的提高;以有机聚合物制成的晶体管,其电性能可通过对有机分子结构进行适当的修饰而得到满意的结果;有机物易于获得,有机场效应管的制作工艺也更为简单,它并不要求严格的控制气氛条件和苛刻的纯度要求,因而能有效地降低器件的成本;全部由有机材料制备的所谓“全有机”的晶体管呈现出非常好的柔韧性,而且质量轻,携带方便。有研究表明,对器件进行适度的扭曲或弯曲,器件的电特性并没有显著的改变。良好的柔韧性进一步拓宽了有机晶体管的使用范围。
OTFT的研究历程
OTFT迁移率和开关电流比是其两个重要的参数:晶体管的迁移率越大,实际运作速度越快;开关电流比越大,所驱动的器件的对比度越好。
1980年年初,人们将有机半导体聚噻吩引入晶体管中,开创了有机薄膜晶体管的研究。但令人遗憾的是当时器件的迁移率只有1×10-5 cm2/V•s,工作频率只有1 Hz左右,开关电流比102~103。在近20年的研究过程中,为提高器件的载流子迁移率、工作频率和降低驱动电压,人们在寻找新的有机材料、改进器件结构和制备工艺等方面进行了大量的工作。
1997年,人们利用并五苯作为有机材料采用层积法制作的有机薄膜场晶体管的迁移率达到了0.7 cm2/V•s,开关电流比为1×108,这足以和无定形硅薄膜晶体管(迁移率0.5 cm2/V•s,开关电流比为1×108)相媲美。2000年,Bell实验室的J.H.Schon等人利用并四苯单晶作有源层,利用双场效应制成有机电注入激光器,在室温下器件的载流子迁移率达到2 cm2/V•s,低温下可达到1×103~1×105 cm2/V•s,开辟了新的有机器件的研究领域。2001年,贝尔实验室的科学家利用高纯的并五苯单晶使载流子迁移率达到3.2 cm2/V•s,开关电流比达到1×109,工作频率达到700 kHz~11 MHz。
聚合物材料中,六噻吩是目前发现的迁移率最高的有机材料,利用做有机半导体制作的OTFT中,电子和空穴的迁移率分别达到0.7 cm2/V•s和1.1 cm2/V•s。1994年,利用打印法制备了全聚合物的OTFT,得到的晶体管载流子迁移率达到0.06 cm2/V•s,为OTFT的廉价和大面积制备打下了基础。最近,剑桥大学和爱普生公司利用喷墨打印法,采用由于亲水性和疏水性而产生自组织化特性的聚合物P3HT制成晶体管,器件的电极都为高分子材料,沟道长度达5~10 mm,载流子迁移率达到0.02~0.1 cm2/V•s,开关电流比达到1×105,工作频率达到250 Hz。这使得有机薄膜场效应晶体管的低成本、批量生产成为可能。目前,器件的载流子迁移率可达到1 cm2/V•s,开关电流比达到1×107。
OTFT的制作工艺
从制作方式来区分,OTFT有真空沉淀和溶液处理两种方式。
真空沉淀技术一般用于有机小分子材料,经常使用的方法有两种:一种是热蒸镀;另一种是气相沉淀。其中,热蒸镀是将有机材料置于坩锅中,加热至材料的升华温度,使得材料在基板上沉淀。利用真空蒸镀制备有机器件是目前最广泛使用的工艺。有机材料的纯度对于晶体的生长有相当大的影响,为了提高纯度,可以使用热梯度法。
而气相沉淀与热蒸镀最大的差别在于利用惰性气体为媒介气体,将有机蒸汽带到基板上。并且基板摆放也与热蒸镀相反,基板位于腔体下方,有机蒸汽经过蒸汽喷头由下而上至基板。
溶液处理方式可用于聚合物和可溶解的有机小分子,包括旋转涂布和喷墨打印等方法。旋转喷涂是将有机材料溶于有机溶剂,均匀地涂在基板上,经过高速旋转形成有机薄膜。溶液的浓度和旋转的速度影响有机薄膜的厚度和均匀性。印刷技术包括屏幕打印、喷墨打印和接触打印等方法。国际上,已有多个实验室用印刷技术制备有机薄膜晶体管,其中研制印刷用试剂是关键,各种有机半导体或绝缘体都可按某种花样图案,一层一层地印制在柔性衬底上,最后成为一个完整有机薄膜晶体管。目前,研究集中在打印技术方面,其线宽可小于1 μm。其中喷墨打印法就是像打印机打字一样将有机打印到衬底材料上。用喷墨打印头制备的有机晶体管阵列的级延迟小于40 μs,虽无法和硅器件相比,但已经取得了很大进展。这项技术的发展为大规模、大尺寸产品生产提供了工艺方法。
OTFT的材料
OTFT最关键的技术之一是有机半导体材料。有机薄膜晶体管对所用的有机半导体材料有着特殊的要求:高迁移率、低本征电导率。高迁移率是为了保证器件的开关速度,低本征电导率是为了尽可能地降低器件的漏电流,从而提高器件的开关比,增加器件的可靠性。
按照材料传输载流子电荷的不同,可分为N型半导体材料和P型半导体材料。N型半导体是指载流子电荷为负,即载流子为电子;P型半导体是指载流子电荷为正,即载流子为空穴。
目前用于有机薄膜晶体管的N型材料主要以富勒烯(C60)为代表。它的电荷迁移率远高于其他N型材料,利用这种材料制备的有机薄膜晶体管的迁移率可以达到0.1 cm2/V•s,开关电流比超过105。其他材料有C70、 四羧酸类材料等,但性能并不理想。同时由于这类N型半导体材料对空气和水比较敏感,所以制备的器件的性能不稳定。
多数有机材料都是P型半导体,包括金属配合物、寡聚材料、聚合物。酞菁类化合物是制备OTFT最早使用的材料,也是常用材料之一。通过取代中间的金属,可以得到各种配位化合物,所制备的器件的迁移率在10-4~10-2 cm2/V•s的范围内。寡聚噻吩是寡聚材料的代表,在OTFT的研究中被大量使用,它可以通过调整分子的结构和长度来控制载流子的传输,也可以通过修饰分子以改善分子的连接形式。曾被使用过的材料有并四苯、并五苯、并六苯、红荧烯和蒽等,其中并五苯所制作的器件的特性是现阶段最优秀的,迁移率超过2 cm2/V•s,开关电流比达到108。聚合物也是较早使用在OTFT中的材料,包括聚吡咯、聚噻吩、聚苯酚、聚2,5噻吩乙炔等。第一个OTFT所用的半导体材料也是高分子半导体材料,但当时的载流子迁移率只有10-5 cm2/V•s。在人们的不断改进下,聚合物器件性能不断提高,目前利用聚合物半导体材料制备的OTFT的载流子迁移率达到了0.1 cm2/V•s。
除有机半导体材料外,绝缘层材料和电极也对OTFT的性能有重大影响。
由于半导体材料一般沉淀到绝缘层上,因此绝缘层表面的性质对半导体材料成膜的形貌和载流子传输都有重要的影响。按照材料的元素不同,可分为无机绝缘材料和有机绝缘材料。无机材料包括SiO2、SiNx、Al2O3等。与无机材料相比,有机绝缘材料具有工艺简单、成本低廉、可制作在柔性基板上等优点,包括聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚酰亚胺(PI)、聚乙烯醇(PVA)、聚乙烯基苯酚(PVP)等。对绝缘层表面进行加工和修饰也可以提高器件的性能。
选择金属电极材料的基本原则是电极可以与有机半导体形成很好的能级匹配。对于p型有机半导体材料,要求电极的功函数与材料的HOMO能级之间的势垒较小;而对于n型材料,要求电极的功函数与材料的LOMO能级之间的势垒较小,以减少因势垒存在而导致器件性能下降,提高载流子的注入效率。常用电极材料有金属的铝、金、铂、铬、ITO、石墨等。
OTFT的发展方向
OTFT的研究已经广泛地进行,但目前仍然存在许多缺点和问题:现有的关于半导体能带理论是建立在无机材料的基础上,对OTFT中一些现象无法给出合理的解释。有机薄膜晶体管的开关速度不稳,在晶体管的内部可能发生摆动,从而使各种信息滞后。大多数有机材料的迁移率都很低,与无机多晶和单晶材料的迁移率相比要小得多,因而其导电性并不尽如人意。有机半导体材料大多数为p形材料,n型材料较少,类型过于单一,这也限制了有机晶体管的进一步发展。外界环境如水、氧以及光和温度等,都对OTFT器件的稳定性有重大的影响,导致器件性能的衰减。
它具有高击穿电场、高饱和电子速度、高热导率、高电子密度、高迁移率等特点,可实现高压、高温、高频、高抗辐射等能力。
它的应用范围覆盖半导体照明、新一代移动通信、智能电网、高速轨道交通、新能源汽车、消费类电子等朝阳领域。
它被视为未来支撑信息、能源、交通、国防等产业发展的重点新材料,将引领光电产业的新一轮革命。
它就是以碳化硅(SiC)、氮化铝(AlN)、氮化镓(GaN)等为代表的第三代半导体材料,如今世界各国争相布局的战略高地。
在世界范围内,第三代半导体材料在各个领域的产业成熟度各有不同,在某些前沿研究方向,仍处于实验室研发阶段。尽管我国起步较晚,发展较缓,无论基础研究还是产业化推进都仍有很长的路要走,但这并未影响该领域内科研人员潜心攻关、奋起直追的决心。
哈尔滨工业大学基础与交叉科学研究院宋波教授,就是奋战在我国第三代半导体材料研究最前沿的优秀科研人员之一。
他L期从事第三代宽禁带半导体材料的生长与物性研究,凝练了气相质量输运动态平衡控制及温场调控等关键科学问题,对碳化硅、氮化铝等光电功能晶体生长过程的动力学优化、关键工艺参数控制与物理性质调控等相互关联的科学问题开展了系统研究,成果颇丰。
雏凤新声,结缘宽禁带半导体
一代材料,一代器件,一场革命。材料的重要性,在半导体产业已经得到印证。
以硅(Si)为代表的第一代半导体材料,引发了电子工业大革命;以砷化镓(GaAs)为代表的第二代半导体材料,则拓展了半导体在高频、光电子等方面的应用,使人类进入光纤通信、移动通信的新时代。而如今,正是第三代半导体材料“大展身手”的时代。
第三代半导体材料又叫宽禁带半导体,是指禁带宽度大于2 eV(电子伏特)的一类半导体,以碳化硅、氮化铝、氮化镓、立方氮化硼(C-BN)等为主要代表。它们所表现出的高温下的稳定性、高效的光电转化能力、更低的能量损耗等绝对优势,吸引了业界的普遍关注,有望全面取代传统半导体材料,开启半导体新时代。
宋波进入这一领域是在博士阶段。那是2005年前后,他正就读于中国科学院物理研究所,师从我国著名晶体结构专家陈小龙研究员开展研究。当时国内宽禁带半导体研究起步不久,各项研究都非常薄弱。
2008年,宋波回到家乡哈尔滨,并在哈尔滨工业大学韩杰才院士引荐下加入该校基础与交叉科学研究院。在这里,宋波确立了宽禁带半导体生长与物性研究这一研究方向,立志从基础研究领域着手,改善我国关键性、基础性战略材料依赖进口的局面,促进宽禁带半导体材料和器件产业的发展,提升产业核心竞争力,缩小与西方国家的差距。
在近十年的研究过程中,宋波作为课题负责人承担了包括国家自然科学基金项目、总装“十二五”预先研究重点项目、科技部国际科技合作项目等在内的20多项科研项目,在J. Am. Chem. Soc., Nano Lett., Phys. Rev. Lett., Adv. Funct. Mater., Phys. Rev. B等国际著名SCI学术杂志上100余篇,论文被正面他引1000余次;获得授权发明专利13项。特别是在SiC基稀磁半导体和AIN基晶体生长研究方向,取得了一系列创新性成果,引领了国内外相关研究的进步,在行业内形成了一定的影响力。
层层深入,攻关SiC基稀磁半导体
稀磁半导体是自旋电子学的材料基础,能够同时利用电子的电荷属性和自旋属性,兼具半导体和磁性的性质,新颖而独特,是第三代半导体材料的热点研究之一。
现阶段,GaAs、GaN和ZnO基稀磁半导体的研究已经取得了突破性进展,但仍无法满足人们对自旋器件高温、高频、大功率和抗辐射等性能的要求,SiC基的出现恰逢其时。宋波在这一前沿方向进行了广泛而深入的研究,并取得了系列研究进展。
他提出了非磁性元素Al掺杂制备SiC基稀磁半导体,在200 K观察到了玻璃态的铁磁有序,同时实现了4H-SiC晶型的稳定可控。首次提出了非磁性元素掺杂AlN基稀磁半导体的研究思路,有效地避免磁性杂质的引入,为探讨稀磁半导体的磁性来源提供了理想的实验体系。
论文在2009年发表后,至今已被他引50余次,得到不少业内专业人士的直接认可,认为其启迪了思考。中国科学院外籍院士C.N.R. Rao教授就曾在论文中直言:宋等的工作显示了铁磁性不是来自磁性杂质而是来自于sp3杂化向sp3-sp2混合杂化转变的过程中所导致。
随着研究的不断深入,宋波的研究也渐入佳境――
同样在2009年,他利用在h-BN中的实验结果证实了美国布法罗州立大学Peihong Zhang教授等人的理论预言,即在带隙宽度达5.5 eV的h-BN中存在缺陷直接诱导的内禀磁性。这一成果获得了包括波兰科学院物理研究院O. Volnianska教授在内的业界专家的正面引用和广泛认可。
2010年,他提出了双元素(Al,TM)复合掺杂SiC基稀磁半导体的研究思路。在Al掺杂稳定4H-SiC晶型的基础之上,同时掺杂磁性过渡金属元素,来获得高Tc、高矫顽力和高剩磁的稀磁半导体。
2011年,他提出了采用缺陷工程调控半导体磁性的新方向。与合作者一起采用中子辐照在碳化硅晶体中诱导出了以硅-碳双空位为主的缺陷,在实验上给出了硅-碳双空位导致铁磁性的证据,并从理论上揭示了双空位产生磁性的物理机制,证实了磁性元素并非半导体磁性的唯一来源,为深入探究宽禁带半导体的磁性起源提供了新的科学认识。在此之后,国内外有超过18个研究小组开展了缺陷诱导半导体磁性的研究工作,并在相关论文中引用了他们的成果,将其列为缺陷导致磁性的典型例子。
把握前沿,初探AIN晶体生长
AlN基的高温、高频、高功率微波器件是雷达、通信等现代化军事和航天装备等领域急需的电子器件。
宋波介绍,与其它的半导体材料相比,AlN基低维材料的形貌较为单一,这导致对其新性质和新应用的探索受到了较大的制约。
因此,深入开展生长动力学研究,探究生长过程中质量输运-温场分布-成核动力学的内在关联,从微观机理上阐述物性变化的原因,探索新奇物理效应,成为制约宽禁带半导体发展的关键科学问题,同时也是一项亟待开展的基础性研究工作。
在这一研究方向,宋波同样取得了不俗的成绩――
(一)在AlN机理生长方面,首次发现本征的六重螺旋生长机制。
他@得了单晶AlN纳米和微米弹簧、AlN螺旋结构、AlN平面六边形环等新颖纳米结构,系统性研究首次发现AlN纳米/微米结构和AlN单晶都遵循六重对称的旋转生长机制。
这一发现极大地丰富了人们对于AlN晶生长机理的认识,对调控AlN生长形貌,获得大尺寸、低缺陷密度的AlN晶体具有重要参考价值。
(二)在AlN新物理性质探索方面,他首次在AlN微米螺旋结构中发现了时间长达300秒的长余辉效应。
研究中,他分别从理论和实验上对AlN螺旋结构中氮空位和铝间隙耦合效应进行了研究。首次发现氮空位和铝间隙的共同作用会诱导出新的能级,进而导致长余辉效应的显现。这一发现,丰富了人们对于AlN基本物理性质的认识,为设计和制造新型AlN基光电子器件提供理论指导。
在AlN纳米线螺旋结构的力学测试中首次发现了AlN单晶螺旋中存在弹性形变。该发现为制备AlN基纳米器件提供了进一步的认识。
(三)在AlN晶体生长方面,突破了多项关键技术,包括形核温度控制技术、晶粒长大过程控制技术、形核控制技术等。
研究中,宋波掌握了包括电阻率及均匀性控制技术、多型缺陷浓度控制技术以及晶体质量稳定性控制技术等在内的多项关键技术,获得了高质量的晶体材料。
他所获得的直径达35mm的双面抛光片,位错密度小于107个/cm2,申报了国家发明专利7项,研究水平居于国内领先地位。
他重新设计和研制了全钨的晶体生长炉、AlN原料原位补充系统和垂直梯度坩埚。试验结果表明,采用新的生长组合系统大大提高了AlN的晶体质量,其中AlN晶体的主要缺陷密度,特别是O(氧)含量降低了约3个数量级,电阻率提高了约2个数量级,为进一步获得高质量的AlN晶体提供了技术支撑。
多年来,宋波非常在意与国际学者的交流与合作,不仅承担了科技部国际科技合作项目,还在多年的研究中与美国威斯康星大学麦迪逊分校Song Jin教授、西班牙科尔多瓦大学Rafael Luque教授建立了广泛的合作关系。特别值得一提的,是在对俄对乌合作方面,宋波与俄罗斯科学院固体物理研究所国际知名晶体学家Vladimir Kurlov教授、国际SiC晶体生长专家Yuri Makarov教授,以及俄罗斯科学院西伯利亚分院半导体研究所的Oleg Pchelyakov教授、Valerii Preobrazhenskii教授建立了密切的合作关系,曾多次出访俄罗斯与乌克兰相关科研机构,为推动双方的科技交流合作作出了重要贡献。
因表现突出,宋波获得了2009年黑龙江省自然科学一等奖、2009年黑龙江省高校自然科学一等奖等荣誉;得到了教育部“新世纪优秀人才”计划、哈尔滨工业大学“基础研究杰出人才培育计划(III类)”和“青年拔尖人才选聘计划(教授类)”的支持;并在三年内连续两次获得副教授和教授的破格提升。2016年,宋波被评为哈尔滨工业大学“先进个人”。
英文名称:Chinese Journal of Semiconductors
主管单位:中国科学院
主办单位:中国科学院半导体研究所;中国电子学会
出版周期:月刊
出版地址:北京市
语
种:双语
开
本:大16开
国际刊号:0253-4177
国内刊号:11-1870/TN
邮发代号:2-184
发行范围:
创刊时间:2010
期刊收录:
CA 化学文摘(美)(2009)
SA 科学文摘(英)(2009)
CBST 科学技术文献速报(日)(2009)
Pж(AJ) 文摘杂志(俄)(2009)
EI 工程索引(美)(2009)
中国科学引文数据库(CSCD―2008)
核心期刊:
中文核心期刊(2008)
中文核心期刊(2004)
中文核心期刊(2000)
中文核心期刊(1996)
中文核心期刊(1992)
期刊荣誉:
中科双效期刊
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在大家的不懈努力下,有机半导体技术和材料都取得了很大的发展,这个学科集合了材料学、物理和化学等等很多学科,是一个交叉学科,半导体技术正在不断发展,将来还会以更快的速度发展。一些专家认为,有机半导体材料开发出的各种器件正在改变未来高科技的发展。
1 有机太阳电池
传统的太阳电池是化合物薄膜太阳电池,而新型的太阳电池要采用新型的技术,有机太阳电池将作为一种新型产物摆在大家的面前,有机太阳电池的生产流程很简单,而且可以通过讲解来减少对环境的污染,由于这些优点符合当代社会的需要,所以有机太阳电池越来越受到大家的关注。如此廉价的太阳电池会让世界的能源发生巨大的改变。有机太阳电池比传统的电池更薄,重量更轻,受光面积在不断增加,所以可以大大提高光电的使用效率,在电脑等小型设备当中可以当作电源来用。可以使用有机太阳电池作为OLED屏幕的电源,可以大大减少重量。虽然太阳电池很薄、很轻,也很有柔性,但是它的效率不高,而且寿命也比较短,通过研究,改变太阳电池的缺点,使得效率达到10%,寿命也可以超过5年。
2 有机半导体晶体管
有机半导体材料的晶体管是有机电子器件当中很重要的一种器件,比如OFET。当前OFET的技术主要有聚合物、小分子蒸发或者是小分子溶液铸模等等。OFET的优点是成本低、柔性大等等,有很好的发展前景。OFET的发展很迅速,无论是材料还是制备工艺方面都有了突破,它可以使OLED发光,形成逻辑电路,发光场效应晶体管以及单晶场效应晶体管等等器件都已经开发出来。世界各个国家都在研究有机半导体晶体管,2009年,日本的专家使用液相外延工艺生产了并五苯单晶,几乎是没有任何缺陷的,之后使用这种单晶制成了OFET,场效应的迁移率可以得到0.6cm2/(V.s)。2010年法国研究人员研究出一种能够模仿神经元突触功能的有机存储场效应晶体管,有机半导体晶体管会有希望成为新一代集成电子器件。
3 OLED技术
与LCD技术比较,OLED不仅可以做到折叠和随身携带,还具有更好的可适度、更好的图像质量以及更薄的显示器。现在OLED已经开始应用到手机、以及数码相机等小型设备当中。当前在OLED显示器开发的市场当中占有很大优势的企业有三星、LG以及柯达等等。2010年初,三星展出了OLED笔记本电脑,还推出了带有OLED平面的MP3播放器。预计未来五年智能手机会促使OLED显示器呈现出快速发展的势头。随着OLED技术的快速发展,未来很可能会应用到显示器、照明当中。由于OLED的刷新速率很高,这使得视频图像更加逼真,还可以随时进行图像的更新。未来的报纸也有可能成为OLED显示器,能够更新新闻,还能够卷起来。有机半导体技术已经在很多领域都占有自己的重要位置,很多企业已经开始开发半导体技术的产品。使用OLED技术的玻璃窗在电源关闭的时候和普通的玻璃没区别,但是在接通电源之后就会变成显示器。使用OLED技术的汽车挡风玻璃也不仅仅是挡风,还能够提供其它的帮助。
有机半导体材料作为一种新型材料,经过不断开发和研究,已经进入商品化的阶段,并且会有很好的发展。有机半导体器件成本低,操作流程简单,而且功耗小,这是很多无机半导体器件没有的特点,所以有机半导体器件有很大的发展。但是有机半导体器件在寿命已经性能方面还需要改进。哟及半导体器件的速度比较慢,这使得它取代传统的半导体的可能性不大,所以在这方面需要解决,但是有机半导体更加经济,成本更低,值得推广。
参考文献
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[2]刘明,谢常青,王丛舜,龙世兵,李志钢,易里成荣,涂德钰.纳米加工和纳米电子器件[J]. 微纳电子技术,2005(9).
[3]杜晋军,李俊,洪海丽,刘振起.纳米电子器件的研究进展与军事应用前景[J].装备指挥技术学院学报,2004(4).
关键词:量子点 发光 量子点尺寸效应
近几年来,宽禁带半导体发光材料引起人们极大的兴趣,是因为这些材料在蓝光及紫外光发光二极管、半导体激光器和紫外光探测器上有重要的应用价值。这些器件在光信息存储、全色显示和紫外光探测上有巨大的市场需求,人们已经制造出III族氮化物和ZnSe等蓝光材料,并用这些材料制成了高效率的蓝光发光二极管和激光器,这使全色显示成为可能。量子点(QuantumDot)凭借自身独特的光电特性越来越受到人们的重视,成为研究的热点。
由于量子点所具有的量子尺寸、量子隧穿、库仑阻塞、量子干涉、多体关联和非线性光学效应非常明显,故在低维量子结构的研究中,对载流子施以尽可能多的空间限制,制备零维量子点结构并开发其应用,受到世界各国科学家和企业家的高度重视。
1、半导体量子点的制备方法
高质量半导体量子点材料的制备是量子器件和电路应用的基础,如何实现对无缺陷量子点的形状、尺寸、面密度、体密度和空间分布有序性等的可控生长,一直是材料科学家追求的目标和关注的热点。
应变自组装量子点结构生长技术是指在半导体外延生长过程中,由于衬底和外延层的晶格失配及表面、界面能不同,导致外延层岛状生长而制得量子点的方法。这种生长模式被称为SK生长模式。外延过程的初期为二维平面生长,平面生长厚度通常只有几个原子层厚,称为浸润层。随浸润层厚度的增加,应变能不断积累,当达到某一临界层厚度时,外延生长则由二维平面生长向三维岛状生长过渡,由此形成直径为几十纳米、高度为几纳米的小岛,这种材料若用禁带较宽的材料包围起来,就形成量子点。用这种方法制备的量子点具有尺寸小、无损伤的优点。用这种方法已经制备出了高质量的GaN量子点激光器。
化学自组装量子点制备方法是一种通过高分子偶联剂将形成量子点的团簇或纳米颗粒联结起来,并沉积在基质材料上来制备量子点低维材料的方法。随着人们对量子线、量子点制备和应用的迫切需求,以上物理制备方法显得费时费力,特别是在批量制备时更是如此,化学自组装为纳米量子点的平面印刷和纳米有机-无机超晶格的制备提供了可能。由于化学自组装量子点的制备具有量子点均匀有序、制备速度快、重复性好等优点,且选用不同的偶联剂可以对不同的量子点前驱颗粒进行不同对称性的组装,从而能制备出不同的量子点。它的出现为批量制备高功率半导体量子器件和激光器提供了一种有效的途径,因此这种方法被认为是制备量子点最有前途的方法之一。
2、 II-VI族半导体量子点的发光原理和发光特性
2.1 发光原理
半导体量子点的发光原理(如图1-1所示),当一束光照射到半导体材料上,半导体材料吸收光子后,其价带上的电子跃迁到导带,导带上的电子还可以再跃迁回价带而发射光子,也可以落入半导体材料的电子陷阱中。当电子落入较深的电子陷阱中的时候,绝大部分电子以非辐射的形式而猝灭了,只有极少数的电子以光子的形式跃迁回价带或吸收一定能量后又跃迁回到导带。因此当半导体材料的电子陷阱较深时,它的发光效率会明显降低。
2.2 发光特性
由于受量子尺寸效应和介电限域效应的影响,半导体量子点显示出独特的发光特性。主要表现为:(1)半导体量子点的发光性质可以通过改变量子点的尺寸来加以调控;(2)半导体量子点具有较大的斯托克斯位移和较窄而且对称的荧光谱峰(半高全宽只有40nm);(3)半导体量子点具有较高的发光效率。半导体量子点的发光特性,除了量子点的三维量子限制作用之外,还有其他诸多因素需要考虑。不过人们通过大胆尝试与努力探索,已在量子点的发光特性研究方面取得了很大的进展。
3、量子点材料的应用
鉴于量子点的独特理化性质,科学工作者就量子点材料的应用研究开展了大量的工作,研究领域主要集中在纳米电子学、光电子学、生命科学和量子计算等领域,下面介绍一下量子点在这些方面的应用。
3.1量子点激光器
用量子线或量子点设计并制作微结构激光器的新思想是由日本的两名年轻的科学家在1982年提出了,但是由于制备工艺的难度很大而搁浅。随着技术的进步,到90年代初,利用MBE和MOCVD技术,通过 Stranski―Krastanow(S―K)模式生长In(Ga)As/GaAs自组装量子点等零维半导体材料有了突破性的进展,生长出品格较完整,尺寸较均匀,且密度和发射率较高的InAs量子点,并于1994年制备出近红外波段In(Ga)As/GaAs量子点激光器。
3.2量子点红外探测器
半导体材料红外探测器的研究一直吸引人们非常广泛的兴趣。以量子点作为有源区的红外探测器从理论上比量子阱红外探测器具有更大的优势,这些优势包括:(1)量子点探测器可以探测垂直入射的光,无需像量子阱探测器那样要制作复杂的光栅;(2)量子点分立态的间隔大约为50meV-70meV,由于声子瓶颈效应,电子在量子点分立态上的弛豫时间比在量子阱能态上长,这有利于制造工作温度高的器件;(3)三维载流子限制降低了热发射和暗电流;(4)探测器不需冷却,这将会大大减少阵列和成像系统的尺寸及成本。因此,量子点探测器已经成为光探测器研究的前沿,并取得了重大进展。
3.3 单电子器件
电子器件是基于库仑阻塞效应和单电子隧道效应的基本原理,通过控制在微小隧道结体系中单个电子的隧穿过程来实现特定功能的器件,是一种新型的纳米电子器件。
3.4 量子计算机
量子计算机是一类遵循量子力学规律进行高速数学和逻辑运算、存储及处理量子信息的物理装置。当某个装置处理和计算的是量子信息,运行的是量子算法时,它就是量子计算机。1998年,Loss和Di Vincenzo描述了利用耦合单电子量子点上的自旋态来构造量子比特,实现信息传递的方法。
除此之外,量子点在生物化学、分子生物学、细胞生物学、基因组学、蛋白质组学、药物筛选、生物大分子相互作用等研究中有极大的应用前景。
结束语 我们相信量子点技术应用的未来出现很多奇迹,随着对量子点的深入研究,其在各个领域的应用前景还将更加广阔。
参考文献
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关键词半导体材料量子线量子点材料光子晶体
1半导体材料的战略地位
上世纪中叶,单晶硅和半导体晶体管的发明及其硅集成电路的研制成功,导致了电子工业革命;上世纪70年代初石英光导纤维材料和GaAs激光器的发明,促进了光纤通信技术迅速发展并逐步形成了高新技术产业,使人类进入了信息时代。超晶格概念的提出及其半导体超晶格、量子阱材料的研制成功,彻底改变了光电器件的设计思想,使半导体器件的设计与制造从“杂质工程”发展到“能带工程”。纳米科学技术的发展和应用,将使人类能从原子、分子或纳米尺度水平上控制、操纵和制造功能强大的新型器件与电路,必将深刻地影响着世界的政治、经济格局和军事对抗的形式,彻底改变人们的生活方式。
2几种主要半导体材料的发展现状与趋势
2.1硅材料
从提高硅集成电路成品率,降低成本看,增大直拉硅(CZ-Si)单晶的直径和减小微缺陷的密度仍是今后CZ-Si发展的总趋势。目前直径为8英寸(200mm)的Si单晶已实现大规模工业生产,基于直径为12英寸(300mm)硅片的集成电路(IC‘s)技术正处在由实验室向工业生产转变中。目前300mm,0.18μm工艺的硅ULSI生产线已经投入生产,300mm,0.13μm工艺生产线也将在2003年完成评估。18英寸重达414公斤的硅单晶和18英寸的硅园片已在实验室研制成功,直径27英寸硅单晶研制也正在积极筹划中。
从进一步提高硅IC‘S的速度和集成度看,研制适合于硅深亚微米乃至纳米工艺所需的大直径硅外延片会成为硅材料发展的主流。另外,SOI材料,包括智能剥离(Smartcut)和SIMOX材料等也发展很快。目前,直径8英寸的硅外延片和SOI材料已研制成功,更大尺寸的片材也在开发中。
理论分析指出30nm左右将是硅MOS集成电路线宽的“极限”尺寸。这不仅是指量子尺寸效应对现有器件特性影响所带来的物理限制和光刻技术的限制问题,更重要的是将受硅、SiO2自身性质的限制。尽管人们正在积极寻找高K介电绝缘材料(如用Si3N4等来替代SiO2),低K介电互连材料,用Cu代替Al引线以及采用系统集成芯片技术等来提高ULSI的集成度、运算速度和功能,但硅将最终难以满足人类不断的对更大信息量需求。为此,人们除寻求基于全新原理的量子计算和DNA生物计算等之外,还把目光放在以GaAs、InP为基的化合物半导体材料,特别是二维超晶格、量子阱,一维量子线与零维量子点材料和可与硅平面工艺兼容GeSi合金材料等,这也是目前半导体材料研发的重点。
2.2GaAs和InP单晶材料
GaAs和InP与硅不同,它们都是直接带隙材料,具有电子饱和漂移速度高,耐高温,抗辐照等特点;在超高速、超高频、低功耗、低噪音器件和电路,特别在光电子器件和光电集成方面占有独特的优势。
目前,世界GaAs单晶的总年产量已超过200吨,其中以低位错密度的垂直梯度凝固法(VGF)和水平(HB)方法生长的2-3英寸的导电GaAs衬底材料为主;近年来,为满足高速移动通信的迫切需求,大直径(4,6和8英寸)的SI-GaAs发展很快。美国莫托罗拉公司正在筹建6英寸的SI-GaAs集成电路生产线。InP具有比GaAs更优越的高频性能,发展的速度更快,但研制直径3英寸以上大直径的InP单晶的关键技术尚未完全突破,价格居高不下。
GaAs和InP单晶的发展趋势是:
(1)。增大晶体直径,目前4英寸的SI-GaAs已用于生产,预计本世纪初的头几年直径为6英寸的SI-GaAs也将投入工业应用。
(2)。提高材料的电学和光学微区均匀性。
(3)。降低单晶的缺陷密度,特别是位错。
(4)。GaAs和InP单晶的VGF生长技术发展很快,很有可能成为主流技术。
2.3半导体超晶格、量子阱材料
半导体超薄层微结构材料是基于先进生长技术(MBE,MOCVD)的新一代人工构造材料。它以全新的概念改变着光电子和微电子器件的设计思想,出现了“电学和光学特性可剪裁”为特征的新范畴,是新一代固态量子器件的基础材料。
(1)Ⅲ-V族超晶格、量子阱材料。
GaAIAs/GaAs,GaInAs/GaAs,AIGaInP/GaAs;GalnAs/InP,AlInAs/InP,InGaAsP/InP等GaAs、InP基晶格匹配和应变补偿材料体系已发展得相当成熟,已成功地用来制造超高速,超高频微电子器件和单片集成电路。高电子迁移率晶体管(HEMT),赝配高电子迁移率晶体管(P-HEMT)器件最好水平已达fmax=600GHz,输出功率58mW,功率增益6.4db;双异质结双极晶体管(HBT)的最高频率fmax也已高达500GHz,HEMT逻辑电路研制也发展很快。基于上述材料体系的光通信用1.3μm和1.5μm的量子阱激光器和探测器,红、黄、橙光发光二极管和红光激光器以及大功率半导体量子阱激光器已商品化;表面光发射器件和光双稳器件等也已达到或接近达到实用化水平。目前,研制高质量的1.5μm分布反馈(DFB)激光器和电吸收(EA)调制器单片集成InP基多量子阱材料和超高速驱动电路所需的低维结构材料是解决光纤通信瓶颈问题的关键,在实验室西门子公司已完成了80×40Gbps传输40km的实验。另外,用于制造准连续兆瓦级大功率激光阵列的高质量量子阱材料也受到人们的重视。
虽然常规量子阱结构端面发射激光器是目前光电子领域占统治地位的有源器件,但由于其有源区极薄(~0.01μm)端面光电灾变损伤,大电流电热烧毁和光束质量差一直是此类激光器的性能改善和功率提高的难题。采用多有源区量子级联耦合是解决此难题的有效途径之一。我国早在1999年,就研制成功980nmInGaAs带间量子级联激光器,输出功率达5W以上;2000年初,法国汤姆逊公司又报道了单个激光器准连续输出功率超过10瓦好结果。最近,我国的科研工作者又提出并开展了多有源区纵向光耦合垂直腔面发射激光器研究,这是一种具有高增益、极低阈值、高功率和高光束质量的新型激光器,在未来光通信、光互联与光电信息处理方面有着良好的应用前景。
为克服PN结半导体激光器的能隙对激光器波长范围的限制,1994年美国贝尔实验室发明了基于量子阱内子带跃迁和阱间共振隧穿的量子级联激光器,突破了半导体能隙对波长的限制。自从1994年InGaAs/InAIAs/InP量子级联激光器(QCLs)发明以来,Bell实验室等的科学家,在过去的7年多的时间里,QCLs在向大功率、高温和单膜工作等研究方面取得了显着的进展。2001年瑞士Neuchatel大学的科学家采用双声子共振和三量子阱有源区结构使波长为9.1μm的QCLs的工作温度高达312K,连续输出功率3mW.量子级联激光器的工作波长已覆盖近红外到远红外波段(3-87μm),并在光通信、超高分辨光谱、超高灵敏气体传感器、高速调制器和无线光学连接等方面显示出重要的应用前景。中科院上海微系统和信息技术研究所于1999年研制成功120K5μm和250K8μm的量子级联激光器;中科院半导体研究所于2000年又研制成功3.7μm室温准连续应变补偿量子级联激光器,使我国成为能研制这类高质量激光器材料为数不多的几个国家之一。
目前,Ⅲ-V族超晶格、量子阱材料作为超薄层微结构材料发展的主流方向,正从直径3英寸向4英寸过渡;生产型的MBE和M0CVD设备已研制成功并投入使用,每台年生产能力可高达3.75×104片4英寸或1.5×104片6英寸。英国卡迪夫的MOCVD中心,法国的PicogigaMBE基地,美国的QED公司,Motorola公司,日本的富士通,NTT,索尼等都有这种外延材料出售。生产型MBE和MOCVD设备的成熟与应用,必然促进衬底材料设备和材料评价技术的发展。
(2)硅基应变异质结构材料。
硅基光、电器件集成一直是人们所追求的目标。但由于硅是间接带隙,如何提高硅基材料发光效率就成为一个亟待解决的问题。虽经多年研究,但进展缓慢。人们目前正致力于探索硅基纳米材料(纳米Si/SiO2),硅基SiGeC体系的Si1-yCy/Si1-xGex低维结构,Ge/Si量子点和量子点超晶格材料,Si/SiC量子点材料,GaN/BP/Si以及GaN/Si材料。最近,在GaN/Si上成功地研制出LED发光器件和有关纳米硅的受激放大现象的报道,使人们看到了一线希望。
另一方面,GeSi/Si应变层超晶格材料,因其在新一代移动通信上的重要应用前景,而成为目前硅基材料研究的主流。Si/GeSiMODFET和MOSFET的最高截止频率已达200GHz,HBT最高振荡频率为160GHz,噪音在10GHz下为0.9db,其性能可与GaAs器件相媲美。
尽管GaAs/Si和InP/Si是实现光电子集成理想的材料体系,但由于晶格失配和热膨胀系数等不同造成的高密度失配位错而导致器件性能退化和失效,防碍着它的使用化。最近,Motolora等公司宣称,他们在12英寸的硅衬底上,用钛酸锶作协变层(柔性层),成功的生长了器件级的GaAs外延薄膜,取得了突破性的进展。
2.4一维量子线、零维量子点半导体微结构材料
基于量子尺寸效应、量子干涉效应,量子隧穿效应和库仑阻效应以及非线性光学效应等的低维半导体材料是一种人工构造(通过能带工程实施)的新型半导体材料,是新一代微电子、光电子器件和电路的基础。它的发展与应用,极有可能触发新的技术革命。
目前低维半导体材料生长与制备主要集中在几个比较成熟的材料体系上,如GaAlAs/GaAs,In(Ga)As/GaAs,InGaAs/InAlAs/GaAs,InGaAs/InP,In(Ga)As/InAlAs/InP,InGaAsP/InAlAs/InP以及GeSi/Si等,并在纳米微电子和光电子研制方面取得了重大进展。俄罗斯约飞技术物理所MBE小组,柏林的俄德联合研制小组和中科院半导体所半导体材料科学重点实验室的MBE小组等研制成功的In(Ga)As/GaAs高功率量子点激光器,工作波长lμm左右,单管室温连续输出功率高达3.6~4W.特别应当指出的是我国上述的MBE小组,2001年通过在高功率量子点激光器的有源区材料结构中引入应力缓解层,抑制了缺陷和位错的产生,提高了量子点激光器的工作寿命,室温下连续输出功率为1W时工作寿命超过5000小时,这是大功率激光器的一个关键参数,至今未见国外报道。
在单电子晶体管和单电子存贮器及其电路的研制方面也获得了重大进展,1994年日本NTT就研制成功沟道长度为30nm纳米单电子晶体管,并在150K观察到栅控源-漏电流振荡;1997年美国又报道了可在室温工作的单电子开关器件,1998年Yauo等人采用0.25微米工艺技术实现了128Mb的单电子存贮器原型样机的制造,这是在单电子器件在高密度存贮电路的应用方面迈出的关键一步。目前,基于量子点的自适应网络计算机,单光子源和应用于量子计算的量子比特的构建等方面的研究也正在进行中。
与半导体超晶格和量子点结构的生长制备相比,高度有序的半导体量子线的制备技术难度较大。中科院半导体所半导体材料科学重点实验室的MBE小组,在继利用MBE技术和SK生长模式,成功地制备了高空间有序的InAs/InAI(Ga)As/InP的量子线和量子线超晶格结构的基础上,对InAs/InAlAs量子线超晶格的空间自对准(垂直或斜对准)的物理起因和生长控制进行了研究,取得了较大进展。
王中林教授领导的乔治亚理工大学的材料科学与工程系和化学与生物化学系的研究小组,基于无催化剂、控制生长条件的氧化物粉末的热蒸发技术,成功地合成了诸如ZnO、SnO2、In2O3和Ga2O3等一系列半导体氧化物纳米带,它们与具有圆柱对称截面的中空纳米管或纳米线不同,这些原生的纳米带呈现出高纯、结构均匀和单晶体,几乎无缺陷和位错;纳米线呈矩形截面,典型的宽度为20-300nm,宽厚比为5-10,长度可达数毫米。这种半导体氧化物纳米带是一个理想的材料体系,可以用来研究载流子维度受限的输运现象和基于它的功能器件制造。香港城市大学李述汤教授和瑞典隆德大学固体物理系纳米中心的LarsSamuelson教授领导的小组,分别在SiO2/Si和InAs/InP半导体量子线超晶格结构的生长制各方面也取得了重要进展。
低维半导体结构制备的方法很多,主要有:微结构材料生长和精细加工工艺相结合的方法,应变自组装量子线、量子点材料生长技术,图形化衬底和不同取向晶面选择生长技术,单原子操纵和加工技术,纳米结构的辐照制备技术,及其在沸石的笼子中、纳米碳管和溶液中等通过物理或化学方法制备量子点和量子线的技术等。目前发展的主要趋势是寻找原子级无损伤加工方法和纳米结构的应变自组装可控生长技术,以求获得大小、形状均匀、密度可控的无缺陷纳米结构。
2.5宽带隙半导体材料
宽带隙半导体材主要指的是金刚石,III族氮化物,碳化硅,立方氮化硼以及氧化物(ZnO等)及固溶体等,特别是SiC、GaN和金刚石薄膜等材料,因具有高热导率、高电子饱和漂移速度和大临界击穿电压等特点,成为研制高频大功率、耐高温、抗辐照半导体微电子器件和电路的理想材料;在通信、汽车、航空、航天、石油开采以及国防等方面有着广泛的应用前景。另外,III族氮化物也是很好的光电子材料,在蓝、绿光发光二极管(LED)和紫、蓝、绿光激光器(LD)以及紫外探测器等应用方面也显示了广泛的应用前景。随着1993年GaN材料的P型掺杂突破,GaN基材料成为蓝绿光发光材料的研究热点。目前,GaN基蓝绿光发光二极管己商品化,GaN基LD也有商品出售,最大输出功率为0.5W.在微电子器件研制方面,GaN基FET的最高工作频率(fmax)已达140GHz,fT=67GHz,跨导为260ms/mm;HEMT器件也相继问世,发展很快。此外,256×256GaN基紫外光电焦平面阵列探测器也已研制成功。特别值得提出的是,日本Sumitomo电子工业有限公司2000年宣称,他们采用热力学方法已研制成功2英寸GaN单晶材料,这将有力的推动蓝光激光器和GaN基电子器件的发展。另外,近年来具有反常带隙弯曲的窄禁带InAsN,InGaAsN,GaNP和GaNAsP材料的研制也受到了重视,这是因为它们在长波长光通信用高T0光源和太阳能电池等方面显示了重要应用前景。
以Cree公司为代表的体SiC单晶的研制已取得突破性进展,2英寸的4H和6HSiC单晶与外延片,以及3英寸的4HSiC单晶己有商品出售;以SiC为GaN基材料衬低的蓝绿光LED业已上市,并参于与以蓝宝石为衬低的GaN基发光器件的竟争。其他SiC相关高温器件的研制也取得了长足的进步。目前存在的主要问题是材料中的缺陷密度高,且价格昂贵。
II-VI族兰绿光材料研制在徘徊了近30年后,于1990年美国3M公司成功地解决了II-VI族的P型掺杂难点而得到迅速发展。1991年3M公司利用MBE技术率先宣布了电注入(Zn,Cd)Se/ZnSe兰光激光器在77K(495nm)脉冲输出功率100mW的消息,开始了II-VI族兰绿光半导体激光(材料)器件研制的。经过多年的努力,目前ZnSe基II-VI族兰绿光激光器的寿命虽已超过1000小时,但离使用差距尚大,加之GaN基材料的迅速发展和应用,使II-VI族兰绿光材料研制步伐有所变缓。提高有源区材料的完整性,特别是要降低由非化学配比导致的点缺陷密度和进一步降低失配位错和解决欧姆接触等问题,仍是该材料体系走向实用化前必须要解决的问题。
宽带隙半导体异质结构材料往往也是典型的大失配异质结构材料,所谓大失配异质结构材料是指晶格常数、热膨胀系数或晶体的对称性等物理参数有较大差异的材料体系,如GaN/蓝宝石(Sapphire),SiC/Si和GaN/Si等。大晶格失配引发界面处大量位错和缺陷的产生,极大地影响着微结构材料的光电性能及其器件应用。如何避免和消除这一负面影响,是目前材料制备中的一个迫切要解决的关键科学问题。这个问题的解泱,必将大大地拓宽材料的可选择余地,开辟新的应用领域。
目前,除SiC单晶衬低材料,GaN基蓝光LED材料和器件已有商品出售外,大多数高温半导体材料仍处在实验室研制阶段,不少影响这类材料发展的关键问题,如GaN衬底,ZnO单晶簿膜制备,P型掺杂和欧姆电极接触,单晶金刚石薄膜生长与N型掺杂,II-VI族材料的退化机理等仍是制约这些材料实用化的关键问题,国内外虽已做了大量的研究,至今尚未取得重大突破。
3光子晶体
光子晶体是一种人工微结构材料,介电常数周期的被调制在与工作波长相比拟的尺度,来自结构单元的散射波的多重干涉形成一个光子带隙,与半导体材料的电子能隙相似,并可用类似于固态晶体中的能带论来描述三维周期介电结构中光波的传播,相应光子晶体光带隙(禁带)能量的光波模式在其中的传播是被禁止的。如果光子晶体的周期性被破坏,那么在禁带中也会引入所谓的“施主”和“受主”模,光子态密度随光子晶体维度降低而量子化。如三维受限的“受主”掺杂的光子晶体有希望制成非常高Q值的单模微腔,从而为研制高质量微腔激光器开辟新的途径。光子晶体的制备方法主要有:聚焦离子束(FIB)结合脉冲激光蒸发方法,即先用脉冲激光蒸发制备如Ag/MnO多层膜,再用FIB注入隔离形成一维或二维平面阵列光子晶体;基于功能粒子(磁性纳米颗粒Fe2O3,发光纳米颗粒CdS和介电纳米颗粒TiO2)和共轭高分子的自组装方法,可形成适用于可光范围的三维纳米颗粒光子晶体;二维多空硅也可制作成一个理想的3-5μm和1.5μm光子带隙材料等。目前,二维光子晶体制造已取得很大进展,但三维光子晶体的研究,仍是一个具有挑战性的课题。最近,Campbell等人提出了全息光栅光刻的方法来制造三维光子晶体,取得了进展。
4量子比特构建与材料
随着微电子技术的发展,计算机芯片集成度不断增高,器件尺寸越来越小(nm尺度)并最终将受到器件工作原理和工艺技术限制,而无法满足人类对更大信息量的需求。为此,发展基于全新原理和结构的功能强大的计算机是21世纪人类面临的巨大挑战之一。1994年Shor基于量子态叠加性提出的量子并行算法并证明可轻而易举地破译目前广泛使用的公开密钥Rivest,Shamir和Adlman(RSA)体系,引起了人们的广泛重视。
所谓量子计算机是应用量子力学原理进行计的装置,理论上讲它比传统计算机有更快的运算速度,更大信息传递量和更高信息安全保障,有可能超越目前计算机理想极限。实现量子比特构造和量子计算机的设想方案很多,其中最引人注目的是Kane最近提出的一个实现大规模量子计算的方案。其核心是利用硅纳米电子器件中磷施主核自旋进行信息编码,通过外加电场控制核自旋间相互作用实现其逻辑运算,自旋测量是由自旋极化电子电流来完成,计算机要工作在mK的低温下。
这种量子计算机的最终实现依赖于与硅平面工艺兼容的硅纳米电子技术的发展。除此之外,为了避免杂质对磷核自旋的干扰,必需使用高纯(无杂质)和不存在核自旋不等于零的硅同位素(29Si)的硅单晶;减小SiO2绝缘层的无序涨落以及如何在硅里掺入规则的磷原子阵列等是实现量子计算的关键。量子态在传输,处理和存储过程中可能因环境的耦合(干扰),而从量子叠加态演化成经典的混合态,即所谓失去相干,特别是在大规模计算中能否始终保持量子态间的相干是量子计算机走向实用化前所必需克服的难题。
5发展我国半导体材料的几点建议
鉴于我国目前的工业基础,国力和半导体材料的发展水平,提出以下发展建议供参考。
5.1硅单晶和外延材料硅材料作为微电子技术的主导地位
至少到本世纪中叶都不会改变,至今国内各大集成电路制造厂家所需的硅片基本上是依赖进口。目前国内虽已可拉制8英寸的硅单晶和小批量生产6英寸的硅外延片,然而都未形成稳定的批量生产能力,更谈不上规模生产。建议国家集中人力和财力,首先开展8英寸硅单晶实用化和6英寸硅外延片研究开发,在“十五”的后期,争取做到8英寸集成电路生产线用硅单晶材料的国产化,并有6~8英寸硅片的批量供片能力。到2010年左右,我国应有8~12英寸硅单晶、片材和8英寸硅外延片的规模生产能力;更大直径的硅单晶、片材和外延片也应及时布点研制。另外,硅多晶材料生产基地及其相配套的高纯石英、气体和化学试剂等也必需同时给以重视,只有这样,才能逐步改观我国微电子技术的落后局面,进入世界发达国家之林。
5.2GaAs及其有关化合物半导体单晶材料发展建议
GaAs、InP等单晶材料同国外的差距主要表现在拉晶和晶片加工设备落后,没有形成生产能力。相信在国家各部委的统一组织、领导下,并争取企业介入,建立我国自己的研究、开发和生产联合体,取各家之长,分工协作,到2010年赶上世界先进水平是可能的。要达到上述目的,到“十五”末应形成以4英寸单晶为主2-3吨/年的SI-GaAs和3-5吨/年掺杂GaAs、InP单晶和开盒就用晶片的生产能力,以满足我国不断发展的微电子和光电子工业的需术。到2010年,应当实现4英寸GaAs生产线的国产化,并具有满足6英寸线的供片能力。
5.3发展超晶格、量子阱和一维、零维半导体微结构材料的建议
(1)超晶格、量子阱材料从目前我国国力和我们已有的基础出发,应以三基色(超高亮度红、绿和蓝光)材料和光通信材料为主攻方向,并兼顾新一代微电子器件和电路的需求,加强MBE和MOCVD两个基地的建设,引进必要的适合批量生产的工业型MBE和MOCVD设备并着重致力于GaAlAs/GaAs,InGaAlP/InGaP,GaN基蓝绿光材料,InGaAs/InP和InGaAsP/InP等材料体系的实用化研究是当务之急,争取在“十五”末,能满足国内2、3和4英寸GaAs生产线所需要的异质结材料。到2010年,每年能具备至少100万平方英寸MBE和MOCVD微电子和光电子微结构材料的生产能力。达到本世纪初的国际水平。
宽带隙高温半导体材料如SiC,GaN基微电子材料和单晶金刚石薄膜以及ZnO等材料也应择优布点,分别做好研究与开发工作。
(2)一维和零维半导体材料的发展设想。基于低维半导体微结构材料的固态纳米量子器件,目前虽然仍处在预研阶段,但极其重要,极有可能触发微电子、光电子技术新的革命。低维量子器件的制造依赖于低维结构材料生长和纳米加工技术的进步,而纳米结构材料的质量又很大程度上取决于生长和制备技术的水平。因而,集中人力、物力建设我国自己的纳米科学与技术研究发展中心就成为了成败的关键。具体目标是,“十五”末,在半导体量子线、量子点材料制备,量子器件研制和系统集成等若干个重要研究方向接近当时的国际先进水平;2010年在有实用化前景的量子点激光器,量子共振隧穿器件和单电子器件及其集成等研发方面,达到国际先进水平,并在国际该领域占有一席之地。可以预料,它的实施必将极大地增强我国的经济和国防实力。
关键词: 晶体 缺陷 固体电解质 半导体材料 掺杂合金
美,让人感觉赏心悦目,美,让人感觉兴趣盎然。美的事物总是让人更易去接受,更愿去接近。化学中的美无处不在,化学史的美,化学仪器的美,形形物质的结构美……
兴趣是最好的老师,因此,在化学教学中,老师如何更多地去发现美,如何引导学生更好地去感受美,对学生学习化学兴趣的培养有着重要的意义。在晶体结构的教学中,教师更多的是让学生感受晶体的完美,完美的晶体确实让人心仪,但实际的物质在结成晶体时往往都有美中不足的地方,实际的晶体总是存在着这样或那样的缺陷。那么,晶体的缺陷是如何形成的呢?缺陷就是不完美,又如何去挖掘晶体的缺陷美呢?
一、晶体的缺陷
晶体的缺陷有点缺陷、线缺陷、面缺陷,点缺陷有填隙缺陷、杂质原子、空位等情况。例如:
试题1:已知一种铁的氧化物FeO(富氧体)为氯化钠型晶体。由于晶体存在缺陷,x<1,测得其密度为5.71g?cm,测得其晶胞边长为4.28×10m。
(1)FeO晶体中x= (保留2位有效数字)。
(2)FeO中Fe和Fe个数比为 。
试题点评:对于氯化钠型的FeO晶体,Fe与O的个数之比为1∶1,当晶体中的部分Fe因氧化而生成Fe时,造成正电荷的增多,在保证负电荷总数不变的情况下,根据电荷守恒,晶体中铁离子的总数将减少,使得化学式FeO中的x<1。根据晶体的密度和晶胞边长,可列示:
5.71g?cm=,得M=67.38g?mol,所以,x=(67.38–16)/55.84=0.92。
根据电荷守恒,当晶体中每2个Fe被氧化生成Fe时,晶体中将产生一个空位,因此,晶体中Fe与空位数之比为2∶1,在1mol FeO晶体中,空位的物质的量为(1-0.92)mol=0.08mol,Fe数为0.08mol×2=0.16mol,Fe数为0.92mol-0.16mol=0.76mol,晶体中Fe和Fe的个数之比为0.76∶0.16=19∶4。
二、晶体的缺陷美
晶体有缺陷,但若能善加利用,缺陷的晶体就能散发它的缺陷美。如能导电的固体电解质、半导体材料和特殊性能合金等,都是晶体缺陷的具体应用。
1.能导电的固体电解质
由于晶体中空位缺陷的存在,对不同晶体的导电率产生了各异的影响。因在电场的作用下,离子会通过空位而移动,从而提高了离子晶体的电导率。例如:
试题2:设计出燃料电池使汽油氧化直接产生电流是世纪富有挑战性的课题之一。最近有人制造了一种燃料电池,一个电极通入空气,另一电极通入汽油蒸气,电池的电解质是掺杂了YO的ZrO晶体,它在高温下能传导O离子。以丁烷代表汽油,这个电池放电时发生的化学反应为:2CH+13O=8CO+10HO。回答如下问题。
(1)这个电池的正极反应是 ,负极反应是 ,固体电解质里的O离子的移动方向是 。
(2)人们追求燃料电池氧化汽油而不在内燃机里燃烧汽油产生动力的主要原因是: 。
(3)汽油燃料电池最大的障碍是氧化反应不完全产生 堵塞电极的气体通道,有人估计,完全避免这种副反应至少还需10年时间,正是新一代化学家的历史使命。
试题点评:由于ZrO晶体中部分+4价Zr被+3价Y替换,根据电荷守恒,O离子将产生缺位,在电场的作用下,O离子会通过空位而移动,从而导致了晶体的导电性。
由于晶体的导电是O离子的定向移动造成的,因此该电池的正极反应为:13O+52e=26O,负极反应为:2CH+26O-52e=8CO+10HO。电池正极产生O,负极消耗O离子,故电解质里的O离子应向负极移动。
由于汽油在内燃机里燃烧时能量利用率低,利用率只有10%左右,而当设计成燃料电池后,能量的利用率大致在30%左右,可大大提高汽油氧化时的能量利用率。但由于汽油不完全燃烧将产生碳,能堵塞电极的气体通道,这是汽油燃料电池的最大障碍。
2.掺杂制半导体材料
杂质对于晶体,特别是半导体材料电学性质的影响是十分显著的。如10亿个正常粒子中有6个杂质粒子存在就足以使半导体的电学性质发生显著的变化。因此,许多半导体原料(如硅、锗等,本身由于自由移动的电子很少,几乎不导电)在制成器件前都要掺杂,控制掺杂元素的种类和浓度,即可得到不同类型的、电阻率氛围各异的半导体材料。例如:
试题3:在锗(或硅)材料的一端掺入少量某主族元素的单质,就变为P型(缺电子型或空穴型)半导体,另一端掺入少量另一主族元素的单质,就变成N型(电子型)半导体。在P型和N型半导体的交界面就形成PN结,在外接电场的作用下,电子就会产生定向的移动。PN结是构成各种半导体器件(如二极管、三极管等)的基础。试回答下列问题:
(1)P型半导体掺入的是 族元素的单质,N型半导体掺入的是 族元素的单质。