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《微细加工技术杂志》注重性、学术性，努力做到风格清新、雅俗共赏。教育理论与实践研究是本刊的重点与特色，创刊以来一直是各种电子信息交流的重要平台。
综述 电子束技术 离子束技术 光子束技术 薄膜技术 微机械加工技术 纳米技术
[1]参考文献首先按文种集中，可分为英文、中文、西文等。然后按著者人名首字母排序，中文文献可按著者汉语拼音顺序排列。
[2]中文提要字数以100-300字为宜。关键词3-5个。
[3]作者姓名置于标题下一行。作者单位等内容置于姓名下一行（单位全称，院系，所在省市，邮政编码）。
[4]文章主题明确，数据可靠，书写准确，图表清晰，文字简练，内容齐全完整。来稿应含以下部分：中英文题名、中英文摘要、中英文关键词、中图分类号（本编辑部亦可代查）、正文以及必要的图表、参考文献。
[5]题目：要求简洁、精炼，能够完整、准确地概括全文内容，并能反映文章的特定内容。不宜以阿拉伯数字开头，字数不宜超过20个字。
| 主题名称 | 发文量 | 相关发文学者 |
| 光刻 | 151 | 姚汉民；冯伯儒；胡松；叶甜春；张锦 |
| 离子注入 | 105 | 张通和；杨建华；吴瑜光；颜亨迪；关安民 |
| 电子束曝光 | 79 | 张玉林；顾文琪；薛虹；张福安；王绍钧 |
| 刻蚀 | 76 | 蔡炳初；徐向东；丁桂甫；杨春生；赵小林 |
| 半导体 | 72 | 郭华聪；周兆英；覃志国；张鹏飞；陈迪平 |
| 电路 | 70 | 陈旭南；王绍钧；姚汉民；冯伯儒；郭华聪 |
| 微细 | 65 | 王振龙；赵万生；伊福廷；俞学东；赵小林 |
| 集成电路 | 64 | 陈旭南；王绍钧；姚汉民；冯伯儒；郭华聪 |
| 微细加工 | 59 | 伊福廷；俞学东；赵小林；王学超；毕建华 |
| 曝光机 | 57 | 张玉林；薛虹；张福安；陈振生；顾文琪 |
微凸起及微坑结构的放电加工基础性研究 杨志伟 云乃彰 陈建宁
用X光光刻法制备亚波长抗反射结构 李以贵 杉山进
碳纳米尖端形成的理论分析 党纯 王廷志
氧化铝/聚甲基丙烯酸复合粒子的抛光性能 雷红 张泽芳
可逆示温微胶囊的制备及性能研究 乔吉超 胡小玲 管萍 柏雪倩
静电纺丝法制备钇铁石榴石单晶纳米纤维 陈莹莹 张溪文 候建梅 韩高荣
采用丙酮催化燃烧法制备多壁碳纳米管 李飞 邹小平 程进 任鹏飞 张红丹 王茂发 朱光 苏燚
靶材自制ZAO薄膜的制备与光电性能 江民红 刘心宇 李海麒
该期刊创刊于1983年，出版地方是湖南，先后获得Caj-cd规范获奖期刊、北大图书馆收录期刊、等荣誉，是一本有一定影响力的学术期刊。
该期刊国际刊号：1003-8213，国内刊号：43-1140/TN。相关信息可以在国家新闻出版总署网站上查询。如果您还有疑问，可以联系客服，了解更多详情。
影响因子现已成为国际上通用的期刊评价指标，它不仅是一种测度期刊有用性和显示度的指标，而且也是测度期刊的学术水平，乃至论文质量的重要指标。该期刊复合影响因子为0.19。
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